海德汉2013年新产品介绍
海德汉2013年新产品介绍
敞开式增量直线光栅尺 LIF400
精度高和安装简单
应用
? 半导体后端生产设备
? 计量仪器
特点
? 紧凑型读数头和光栅尺
? PRECIMET背胶固定，安装简单
? 抗污染能力较强
? 限位开关和回零轨
技术参数
? 玻璃基体或Zerodur玻璃陶瓷基体的
SUPRADUR相位光栅
? 信号周期 4µm
? 精度等级 ±3 µm
? 典型位置误差
单信号周期内 ±0.04 µm
? 测量长度 至1020 mm
? 接口 1VPP或TTL
敞开式增量直线光栅尺 LIDA400
用于高速运动和大测量范围
应用
? 半导体工业生产和检测设备
? PCB电路板组装机
? 测量机
特点
? 运动速度快
? 测量长度大
? 安装公差大
? 限位开关
? 多种型号可供选择
技术参数
? 钢带，玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅
? 信号周期 20µm
? 测量步距 至0.05µm
? 精度等级 至±5 µm
? 典型位置误差
单信号周期内 ±0.2 µm
? 测量长度 至30m
? 接口 1VPP或TTL
无内置轴承增量式角度编码器
玻璃圆光栅码盘/轮毂总成
应用
? 计量仪器
? 高速旋转轴
特点
? 尺寸紧凑
? 高精度
? 信号误差补偿
技术参数
? 玻璃基体的METALLUR光栅尺
? 信号周期数 9 000/18 000
? 系统精度 ± 5/± 3角秒
? 直径 外径 71/150 mm
内径 25/95 mm
? 接口 1 VPP或TT
系统安全要求日益提高，网络渗透日趋深入，因此新机器和新系统的要求也更加严格。 |
敞开式直线光栅尺 LIC4000
精度高和测量范围大
应用
? 半导体工业的测量和生产设备
? PCB电路板组装机
? 测量机
? 直接驱动
特点
? 大测量范围的位置值
? 高分辨率
? 结构紧凑
? 安装和诊断简单
技术参数
? 有刻轨的METALLUR钢带
? 分辨率 zui小至0.001µm（1 nm）
? 精度等级 达±5 µm
? 典型位置误差
单信号周期内± 0.08 µm
? 测量长度 至27m
? 运动速度 至8m/s
? 接口 EnDat2.2
式?？樾嗦肫?/strong> ECN1123/EQN 1135
单圈/多圈版
应用
? 伺服电机反馈系统
? 机械手应用
? 一般自动化系统
特点
? 结构紧凑
? 安装简单
? 功能安全
技术参数
? 单圈测量步距数 8388 608 (23 bits)
? 分辨率（EQN1135） 4096 (12 bits)
? 系统精度 ±60’’
? 接口 EnDat2.2
8 MHz时钟频率
? 安全等级 SIL2，EN 61 508
3级PL d，
EN ISO 13 849-1:2008
? 供电电压 DC3.6至14 V
海德汉2013年新产品介绍
